松下电工控制机器事业本部推出了采用MEMS技术的三款产品,分别是超小型MEMS高频继电器、面向车载用途的单轴加速度传感器、适用于小型数字设备的三轴加速度传感器。
MEMS继电器ME-X融合了MEMS和机械继电器技术CONTROL ENGINEERING China版权所有,采用精密活动结构和磁回路,大小仅为4.0mm×2.5mm×1.3mm,同时具有低接触阻抗、接点间高绝缘性、可在高频且宽频带下使用的机械式继电器的优点和小型、高效率、可高速开闭的半导体继电器的优点。继电器在6GHz时的电阻为50ΩCONTROL ENGINEERING China版权所有,插入损耗约为0.5dB,隔离度约为28dB,功耗为100mW,可用于IC测试仪、测量仪、BS/地波数字广播、3G/4G移动电话等产品当中。 GS1型单轴加速度传感器由精密梳齿结构形成的静电容量式MEMS传感器芯片和专用ASIC芯片组成,典型尺寸为6.2mm×8.5mm×1.6mmwww.cechina.cn,检测灵敏度为 1V/g,综合精度为±5%FSCONTROL ENGINEERING China版权所有,温度变化适应性强、可靠