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凌华科技PCIe-833x运动控制卡在晶圆AOI检测中的应用

www.cechina.cn2023.11.17阅读 4645

  晶圆AOI检测设备,使用线扫描相机www.cechina.cn,沿X方向对晶圆上的每个晶粒进行扫描CONTROL ENGINEERING China版权所有,同时在扫描到每个晶粒时,相机会在Z方向做上下的微调整,用于准确地对焦。当一行扫描完成后,相机会在Y方向移动到下一行晶粒,继续之前的动作,直到整个晶圆扫描完成。
  PCIe-833x EtherCAT运动控制卡介绍
  凌华科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT运动控制卡,能够同时支持多达64个同步轴和超过10,000 个I/O 点。PCIe-833x具有专用的隔离紧急停止输入(EMG) 和可配置的隔离高速数字输入,不仅具有通用传感器输入,而且具有高达1MHz 输入频率的脉冲输入。
  在250μs 的最小通讯周期内提供最佳的抖动控制,优化半导体电子制造等自动化应用领域的同步I/O 性能。
  PCIe-833x产品特性
  ●通过EtherCAT 可实现多达64 轴的运动控制和10,000 个I/O 点控制
  ●EtherCAT 控制周期高达250μs
  ●兼容大多数EtherCAT从站
  ●专用的紧急停止输入
  ●板卡自带4通道隔离数字输入/4通道隔离数字输出
  ●单通道脉冲输入
  ●针对轨迹应用的点表功能
  ●支持最高达16D直线插补,3D圆弧插补和3D螺旋插补
  ●对于独立的应用,提供8个程序可下载功能
  ●支持从站ID设置
  晶圆AOI检测
  晶圆AOI检测功能需求
  1)两轴插补功能。
  2)2D触发功能(在扫描过程中,相机在Z轴方向做上下对焦动作)。
  PCIe-833x解决方案:
  1)两轴插补中使用PT功能,客户可以指定在同一个时间点X及Z的位置,以及相关各轴的速度,用到的函数和语法如下,
  APS_pt_motion_add_point
  Syntax: C/C++:
  I32 APS_pt_motion_add_point ( I32 Axis_ID, I32 ArraySize, F64 *PositionArray, F64 *TimeArray ); Visual Basic: APS_pt_motion_add_point(ByVal Axis_ID As Long控制工程网版权所有, ByVal ArraySizeAs Long控制工程网版权所有, PositionArrayAs Double, TimeArrayAs Double) As Long
  APS_pt_motion_get_status
  Syntax: C/C++:
  I32 APS_pt_motion_get_status( I32 Axis_ID, I32 *FreeSize, I32 *PointCount, I32 *State ); Visual Basic: APS_pt_motion_get_status (ByVal Axis_ID As Long控制工程网版权所有, FreeSize As Long控制工程网版权所有, PointCountAs Long控制工程网版权所有, StateAs Long) As Long
  APS_pt_motion_start
  Syntax: C/C++:
  I32 APS_pt_motion_start (I32 Dimension, I32 *Axis_ID_Array, I32 Enable ); Visual Basic: APS_pt_motion_start(ByVal Dimension As Long控制工程网版权所有, Axis_ID_Array As Long控制工程网版权所有, ByVal Enable As Long) As Long
  APS_pt_motion_reset
  Syntax: C/C++:
  I32 APS_pt_motion_reset (I32 Axis_ID); Visual Basic: APS_pt_motion_reset (ByVal Axis_ID As Long) As Long
  调试界面如下,

  2)2D触发功能
  2D触发功能通过外接ECAT-TRG4 4通道高速位置比较和触发模块实现,ECAT-TRG4 是 EtherCAT从端模块,具有高速位置比较触发和编码器单个信号中继功能,该模块的规格如下,

  ●4 通道点表触发-最大10 MHz带FIFO 255 点
  ●4 通道线性触发 - 最大10MHz
  ●4 通道位置锁存 - 最大3 MHz带 255 点
  ●硬件紧急停止接口
  ●通过主站最多支持 32 组龙门功能
  ●轴参数的断电记忆
  ●支持编码器信号中继功能
  ●支持高级点表
  需要用到的函数和语法如下,
  APS_set_field_bus_multi_trigger_table
  Syntax:
  C/C++:
  I32 APS_set_field_bus_multi_trigger_table( I32 Board_ID, I32 BUS_NoCONTROL ENGINEERING China版权所有, I32 MOD_No控制工程网版权所有, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *DataArray, I32 ArraySize , I32 Window );
  APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp
  Syntax:
  C/C++:
  I32 APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp( I32 Board_ID, I32 BUS_NoCONTROL ENGINEERING China版权所有, I32 MOD_No控制工程网版权所有, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *CmpVal );
  APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count
  Syntax:
  C/C++:
  I32 APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count( I32 Board_ID, I32 BUS_NoCONTROL ENGINEERING China版权所有, I32 MOD_No控制工程网版权所有, I32 MTCmpCh, I32 *Cnt );
  凌华科技为智能制造用户提供一站式解决方案,实现生产设备之间的互联互通,全面共享和交互内部数据,从而优化生产流程,更好地应对市场需求的变化。
  用户可通过PC端的编程环境,在单个硬件平台上实现应用程序的集中控制,从而降低成本,提高系统可靠性和安全性。
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