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首台ASML光刻机已搬入上海,即将投产

www.cechina.cn2022.12.01阅读 3005

  由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目控制工程网版权所有,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。这意味着,首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产;与此同时,ASML也通过实际行动表明了自己不放弃中国市场的态度!

  为了遏制中国科技发展,美方不仅施压荷兰光刻机制造商阿斯麦(ASML)禁止向我国出售14nm及以下工艺的DUV光刻机,还一直试图要求该公司禁止对华销售部分旧款光刻机,以及所有制造芯片所需的主流技术。
  要知道,目前全球只有ASML能够生产先进的EUV光刻机,但ASML的光刻机汇集了世界高端技术的结晶,其中自然用到了很多含有美国设备的技术,所以ASML自由出货被美方拿捏得死死的。
  不过,现在传来一则好消息,ASML针对自由出货不愿意再妥协了——近日,由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目控制工程网版权所有,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式。
  这意味着,首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产;与此同时,ASML也通过实际行动表明了自己不放弃中国市场的态度!
  造芯:预计年产36万片!
  根据鼎泰匠芯官方消息显示,临港重装备产业区F16-01地块项目控制工程网版权所有,位于上海市浦东新区南汇新城镇,东至新元南路,西至鸿音路,北至万水路,占地约198亩,总建筑面积达204059.7平方米,总投资超120亿元。
  该项目于2021年1月开启,同年7月正式开工,建成后将导入荷兰安世半导体技术打造国内第一座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心,对临港新片区建设世界级的电动汽车全产业链具有重要意义。
  据悉,建设包括FAB生产厂房(含洁净室)、OS生产调度及研发大楼、CB综合楼、WH仓库、CUB动力站等大型群体工程。其中www.cechina.cn,FAB生产厂房作为本工程最大规模单体,建筑面积达104085.98平方米。
  待该项目全面达到预期产能后,可实现年产能约36万片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圆片,主要生产MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件产品。同时,还将同步推动建成芯片设计、5G智能硬件和AI/IOT模块设计的研发总部,助力上海成为国际一流的半导体和5G产业创新高地。

  根据公开资料显示,鼎泰匠芯母公司是闻天下科技集团有限公司,闻天下旗下的闻泰科技(安世半导体)是全球知名的半导体IDM企业,在功率半导体领域形成了产品设计、仿真、制造、封装、测试、标定、可靠性试验验证等一系列IDM核心技术能力,在车规级半导体领域处于全球领先,对晶圆制造建厂、设备、工艺及产品等都有着丰富的认知和实践经验。
  未来,临港12英寸车规级晶圆厂的投产,也将有助于安世半导体快速增加产能,对满足全球客户日益增长的需求具有重要意义。
  ASML:不放弃中国市场!
  众所周知,芯片制造离不开光刻机。尽管最近一段时间ASML成为了美国施压的对象,但其实ASML一直都在提升对国内市场的出货能力。比如,今年第一季度ASML就出货了23台DUV光刻机,国内市场一举超过美国,成为ASML第三大市场。
  现如今CONTROL ENGINEERING China版权所有,ASML不仅拒绝收紧DUV光刻机的出货范围,还计划将在中国台湾地区投资300亿新台币进行扩产。随着先进光刻机产能的提升和High-NA EUV光刻机的问世,ASML有望自由出货更先进的设备。
 
  据了解,ASML做出这样的决定,主要出于以下几点原因:
  首先,国内市场是最大的芯片消费市场,目前很多国内厂商开始自研自产芯片,进口芯片出现了明显的下滑趋势。越来越多的芯片在国内生产制造,自然就需要用到更多的光刻机等设备。
  另外,新能源汽车无疑是未来趋势之一控制工程网版权所有,而中国又是最大的新能源汽车消费国,同时也是最大的出口国,新能源汽车生产制造需要大量的芯片。
  相比手机而言,汽车是更大的产业链,毕竟会有更多的汽车芯片在国内完成生产制造,这对光刻机的需求自然也会进一步增加。
  其次,ASML能够更多的出货,也是因为ASML的光刻机制造技术最为先进,其它厂商根本替代不了。据了解,ASML的光刻机技术来自全球40多个国家、数百家供应商CONTROL ENGINEERING China版权所有,就连美国也没有独立生产制造光刻机的能力。
  另外,在ASML生产制造的光刻机中,美国技术占比是有限的。因此,美方修改规则限制出货,这对ASML光刻机出货的影响也相对是有限的。
  更何况,国内厂商在先进光刻机方面取得了诸多突破,目前已经拿下了国内八成光刻机市场,以及全球四成的封装光刻机市场。
  由此可以看出,ASML不放弃中国市场是对的。
 
  正如ASML首席执行官Peter Wennink在今年7月披露财报时表示:中国大陆是半导体行业的重要参与者,是全球市场非常重要的供应商。“政客们”没事就要提出限制向中国大陆销售DUV光刻机的计划,但是世界不能忽视“中国半导体产能对全球电子产业的重要性”。如果美方迫使ASML停止向中国销售DUV光刻设备,那么全球半导体供应链将面临中断。
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