Baolab Microsystems公司宣称CONTROL ENGINEERING China版权所有,它的“NanoEMS”技术可以帮助提升未来传感器和通讯元件的性能,同时减少它们的体积。Baolab 3D纳米罗盘,是一款3轴电子微机电系统(MEMS),在标准的大批量制造的互补金属氧化物半导体(CMOS)晶圆当中加入了纳米结构。
Baolab公司的首席执行官Dave Doyle在1月12日宣布,相关产品已经告别实验室投入生产,公司的技术是“可靠、可升级并且可重复的”。纳米EMS过程“使得在同一条CMOS生产线的同一块芯片上集成MEMS传感器与微控制器以及其他电子元件更加容易、成本更低。这样,消费产品也可以拥有智能传感器,满足市场上对于更加智能、更加有辨识力的设备的要求。” Doyle说道。
传统CMOS MEMS过程与Baolab NanoEMS(纳米嵌入式机械结构)的对比:Baolab NanoEMS将MEMS嵌入到CMOS晶圆当中,可以使用标准的制造技术进行架构,相比现有的在晶圆表面安装MEMS的做法,产品体积更小,成本更低。图片来源:Baolab Microsystems公司。
振动天线可以克服传统(静态)天线的限制。比如,紧凑型超指令/超高分辨率天线/镜头需要相移器和增益,同时精度也不大可能很高。
热磁射频开关和天线:通过利用镍的居里温度的低值,可以制造射频开关、滤波器和可配置天线。
模态开关:这种拓扑结构通过低电容率和高隔离度射频开关,使用低成本CONTROL ENGINEERING China版权所有,低电阻率的CMOS基板,实现强大的功能。
射频滤波器:这种小型CMOS处理设备可以进行射频MEMS滤波CONTROL ENGINEERING China版权所有,实现手机通信使用GHz频段,并显著增强机电耦合性能。
电源转换器:集成电荷泵和电源,可以降低成本,减小设备体积www.cechina.cn,并提高效率。