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机器的纳米传感器

www.cechina.cn2012.06.30阅读 3705

        纳米传感技术正在让控制回路(传感、测量、执行和重复)的机器检测部分变得越来越小、越来越可靠,让制造更加高效。纳米技术将继续在广泛的范围内应用,而更加紧凑的传感元件也在工业机器中找到了用武之地,比如可以作为硅基压力传感器、定位和运动传感器变送器
        Baolab Microsystems公司宣称,它的“NanoEMS”技术可以帮助提升未来传感器和通讯元件的性能,同时减少它们的体积。Baolab 3D纳米罗盘,是一款3轴电子微机电系统(MEMS),在标准的大批量制造的互补金属氧化物半导体(CMOS)晶圆当中加入了纳米结构。
        Baolab公司的首席执行官Dave Doyle在1月12日宣布,相关产品已经告别实验室投入生产,公司的技术是“可靠、可升级并且可重复的”。纳米EMS过程“使得在同一条CMOS生产线的同一块芯片上集成MEMS传感器与微控制器以及其他电子元件更加容易、成本更低。这样控制工程网版权所有,消费产品也可以拥有智能传感器CONTROL ENGINEERING China版权所有,满足市场上对于更加智能、更加有辨识力的设备的要求。” Doyle说道。


传统CMOS MEMS过程与Baolab NanoEMS(纳米嵌入式机械结构)的对比:Baolab NanoEMS将MEMS嵌入到CMOS晶圆当中,可以使用标准的制造技术进行架构CONTROL ENGINEERING China版权所有,相比现有的在晶圆表面安装MEMS的做法,产品体积更小,成本更低。图片来源:Baolab Microsystems公司。

        作为一款工业产品,它可以紧跟消费电子的趋势,并从中受益。MEMS运动传感器得益于Baolab NanoEMS结构,可以很容易与ASIC搭配作为射频天线、射频开关或者作为近场通信应用。公司宣称,产品的应用包括:
        振动天线可以克服传统(静态)天线的限制。比如www.cechina.cn,紧凑型超指令/超高分辨率天线/镜头需要相移器和增益,同时精度也不大可能很高。
        热磁射频开关和天线:通过利用镍的居里温度的低值,可以制造射频开关、滤波器和可配置天线。
        模态开关:这种拓扑结构通过低电容率和高隔离度射频开关控制工程网版权所有,使用低成本,低电阻率的CMOS基板,实现强大的功能。
        射频滤波器:这种小型CMOS处理设备可以进行射频MEMS滤波,实现手机通信使用GHz频段,并显著增强机电耦合性能。
        电源转换器:集成电荷泵和电源,可以降低成本,减小设备体积,并提高效率。
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