西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题——“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。 

      据了解CONTROL ENGINEERING China版权所有，MEMS即微电子机械系统，集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体CONTROL ENGINEERING China版权所有，是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域。该课题是由西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担控制工程网版权所有，北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司和华中科技大学合作开发的控制工程网版权所有，总投入1050万元。该课题针对石油化工、军工领域、能源电力以及汽车等行业对压力测试的特殊要求CONTROL ENGINEERING China版权所有，研究低中高各量程、工作温度在-30℃—200℃的MEMS压力传感器及其批量制造与实用化技术难题。该课题将有利于我国目前耐高温压力传感器的研究工作在石油化工、军工领域、能源电力以及汽车等行业尽快实现商品化和产业化。