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2006.01.31阅读 1197
台湾国立清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。
此次开发的传感器中www.cechina.cn，手触部分由带保护膜的金属薄膜构成控制工程网版权所有，这层薄膜与下面的金属薄膜构成电容器。手触后控制工程网版权所有，金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化。通过这种变化实现触觉的感知。
为了实现CMOS工艺下的开发控制工程网版权所有，牺牲层使用了金属。这样一来，金属薄膜就会在牺牲层刻蚀阶段被一同刻蚀处理掉控制工程网版权所有，因此预先对最终所需要的金属薄膜进行了钝化处理，以确保不被刻蚀处理。试制品使用了台积电的2层聚合物4层金属的0.35μm工艺。
信息来源：中国电子元件行业协会
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