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新闻中心 硅各向异性腐蚀技术是MEMS 加工的核心工艺之一。硅的各向异性腐蚀，是指硅的不同晶面具有不同的腐蚀速率MEMS。基于这种腐蚀特性CONTROL ENGINEERING China版权所有，可在硅衬底上加工出各种各样复杂的三维微结构。如果能精确的对各向异性腐蚀的结果进行计算机模拟控制工程网版权所有，那么对于MEMS计算机辅助设计系统的建立和MEMS工艺水平的提高，都有重要的意义.
在硅的各向异性腐蚀中控制工程网版权所有，各晶面的腐蚀速率有很大差异，与晶向、腐蚀液浓度、温度、掩模形状等因素有很大关系。如何对不可预料的腐蚀结果进行计算机模拟CONTROL ENGINEERING China版权所有，是令众多研究者深感兴趣的问题。目前国内外已有几种取得较好模拟结果的硅各向异性腐蚀模拟软件
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单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟
作者：姚娉，闫卫平，马灵芝，杜立群，郭吉洪2009.05.14阅读 2156
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