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LEODO人机界面在硅单晶炉的应用

来源:精工网2006.07.28阅读 3593

       摘要:传统的控制器由于主要用来实现控制要求,而人机交互设计则比较简单。随着工业技术的不断发展,控制器配合人机界面,使其图文并茂,更加人性化。本文介绍了用LEODO人机界面改造晶体生长控制器的经验和方法。 


       关键词:硅单晶 光环法 PID控制 LEODO人机界面

       一、引言

       自从1947年贝尔实验室的William Shockely等人发明了晶体管,几十年来,硅智能技术加快了人类探索世界的步伐。不仅全球电子业制造半导体芯片都是采用硅晶体材料,就连现在应用越来越成熟的太阳能技术也离不开硅单晶体。单晶硅的制作普遍采用提拉法,该法可以生长出比较均匀、无缺陷的硅单晶体。目前,利用提拉法可以生长出直径约为150毫米的优质硅单晶。 


 

LEODO人机界面在硅单晶炉的应用如图


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bsp;              硅单晶体毛胚


       由于硅单晶产品在国内外市场销售旺盛,硅单晶生产厂家不断壮大,对国产软轴硅单晶炉的需求猛增。本文主要是介绍人机界面在这种软轴单晶硅炉系统中的应用。

       二、 系统配置图 
 

LEODO人机界面在硅单晶炉的应用如图


       此系统由工作站服务器、LEODO人机界面、晶体生长控制器和软轴单晶硅炉构成。这种分散控制方式具有高可靠性,而且每部分可以独立设计、开发和测试。以前的方式是晶体生长控制器自己带有小的显示屏和RS485通信接口,由于显示屏的视角很窄,远距离看不清楚,而且RS485通信方式需要单独布线,不太方便,很多用户对此提出要求。还有一种方式是用工控机替代以单片机为主的晶体控制器CONTROL ENGINEERING China版权所有,工控机处理速度快控制工程网版权所有,功能强大,能实现更复杂的控制,可是如果采用VxWork这种高可靠性的嵌入式操作系统比较昂贵控制工程网版权所有,而Windows 2000操作系统无法保证这种高可靠性。由于接口板卡引入的干扰也容易导致出现故障,所以可靠性是这种方案需要考虑的问题。

       三、 系统特点

       1、人机界面 
 

LEODO人机界面在硅单晶炉的应用如图


       LEODO人机界面产品是由32位嵌入式微处理器、WinCE.net操作系统和ET组态软件构成了新颖的人机界面产品。该产品适用于工业现场环境,安全可靠控制工程网版权所有,可以广泛地应用于生产过程设备的操作和数据显示,与传统的人机界面相比具有信息处理和网络功能的特点。用户可以采用随机提供的组态软件,也可以运行第三方的组态软件。对OEM用户提供Windows CE.net 4.1 SDK、EVC++4.0开发环境。向下可以连接符合RS232/422/485标准通信接口的PLC、变频器、智能仪表、智能模块等控制装置,可以完成生产过程数据采集、数据存储和画面显示操作;向上有面向生产制造执行系统(MES)的Ethernet网络接口可以完成数据传输。

       2、晶体生长控制器

       晶体生长控制器采用80C19KC单片机,AT29C256(32K)FLASH ROM等高品质进口元器件、接插件,加入各种容错和数据安全保护措施;采用全隔离的输入/输出接口,系统安全可靠。晶体生长控制器是集晶体直径控制、过程温校控制、埚转控制、收尾控制、晶体长度计算、晶体重量计算为一体的多功能控制仪器。

       控制原理:在晶体生长过程中,晶体的直径主要受晶升速度和熔体温度的变化而变大或变小,当晶升速度增大时,晶体直径变小,反之当晶升速度减小时控制工程网版权所有,晶体直径变大。当熔体温度升高时,晶体直径变小,反之当熔体温度下降时,晶体直径变大,因此,晶体直径的控制是通过控制晶升速度和加热









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