项目概况及要求
　　
　　这是一个两轴半导体晶片输送机械手的应用实例控制工程网版权所有，用于配合应用德国工业标准的半导体测量工具。该机械手的作用是进行晶片输送和对准操作，随后将晶片送入真空测量室测量。
　　
　　内部输送装置
　　
　　内部输送装置是一个自动机械手，可将晶片从晶片库送入测量室。这个运动对时间有极为严格的要求，它直接影响晶片输送速度，必须非常准确。
　　
　　预对准装置
　　
　　预对准装置是测量工具的一个主要部件，用于确定晶片切口方位以及晶片中心与预对准操作头（pre-aligner）回转轴之间的偏心值。
　　
　　控制中最大的挑战，来自内部输送装置，以及必须移动大小尺寸不同的晶片。
　　
　　如何轻松应对挑战？
　　增强控制算法
　　快速开发与适应能力（可在4周内完成 I/O 板设计，并提供原型）
　　与以前的解决方案相比CONTROL ENGINEERING China版权所有，可降低成本高达60%
　　小型封装，外观整洁控制工程网版权所有，布线少，驱动器可靠近电机安装。
　　　
　　解决方案
　　
　　该解决方案采用了源自丹纳赫传动的标准和定制产品。配有标准电机和 Pico 驱动器的直接驱动系统取代了Harmonic Drive 减速机和技术过时的伺服系统。
　　
　　采用标准的 Servostar PD PicoDrivewww.cechina.cn，取消了风扇，以避免所有机械干扰（机械精度为1纳米）。
　　ITU 电机：BDL4-SMB，配有零齿槽效应制动器，并针对24伏直流母线对绕组进行了优化处理。
　　PAL 电机：AKM21电机控制工程网版权所有，配有5000LPR编码器。
　　定制 I/O板，专为所有机器 I/O 要求而设计。该 I/O 板安装在 PicoDrive 外壳中。