用户中心

资讯 > 仪器仪表

QMEMS陀螺仪结构及工作原理浅析

作者:世强2016.09.06阅读 2766

  早期的陀螺仪是一种机械装置CONTROL ENGINEERING China版权所有,主要部分是一个对旋转轴以极高角速度旋转的转子,转子装在一支架内;在通过转子中心轴XX1上加一内环架控制工程网版权所有,那么陀螺仪就可环绕 平面两轴作自由运动;然后控制工程网版权所有,在内环架外加上一外环架;这个陀螺仪有两个平衡环,可以环绕平面三轴作自由运动,就是一个完整的陀螺仪。


  图1:陀螺仪结构图


  在现在常见的智能手机、游戏手柄等设备里面的是微机械陀螺仪MEMS陀螺仪),MEMS陀螺仪利用科里奥利力-旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。通过给径向上的电容板加震荡启动电压使物体做径向运动,横向的科里奥利力运动带来的电容变化,因为科里奥利力正比于角速度,所以测量电容的变化可以计算出角速度。


  图2:科里奥利力


  EPOSN陀螺仪采用了QMEMS陀螺仪,即石英晶体(QUARTZ)+微机械(MEMS)陀螺仪。所谓QMEMS是指那些对石英原料使用精密加工(光刻)技术,集结了机械、电子、光学、化学等相关的各种功能,具备高精度、高稳定性等附加价值的晶体元器件。
  以EPSON XV4001的两轴为例,如图所示:


  图3:EPSON XV4001


  通过切割时石英晶体为H控制工程网版权所有,两侧为振动臂,中心为零位输出,该构造可使陀螺仪两侧振动臂相对照进行振动,再由检测臂准确检测承载的物体是否存在振动或转动。当角速度传感器相对稳定没有旋转时,两侧振动臂相对于中心的数据作为参考值,当发生旋转时,由于晶体的压电效应两侧振动臂对于中心,会出现不同的偏转数值,根据此偏转,由处理器计算出角度的数值通过通信接口输出,用户直接会得到通信接口送出来的角度数值。
  EPOSN之所以选择石英晶体(QUARTZ)+类似半导体MEMS的生产制程,首先是因为传统MEMS陀螺仪荡器结构非常复杂,包括了AD转换器、温度补偿电路、偏流 电路等等,它最大的薄弱环节就在于其温度特性变化非常剧烈,陀螺仪检测范围限制在+/-2g左右;而QMEMS陀螺仪则采用石英晶体为元件,石英晶体硬度 及理化性质稳定,频率基本不随温度变化,由此产生的内部振荡损失也最小,QMEMS陀螺仪则可以将范围扩展至数百g左右。因此控制工程网版权所有,QMEMS陀螺仪对于追求高精度、高稳定性的电子设备是非常适合的。

版权声明:版权归控制工程网所有,转载请注明出处!
联系厂商

通过本站与本文涉及的厂商 深圳市世强先进科技有限公司 联系,本站注册会员请登录后填写更便捷。 登录注册

  • 您的姓名:
  • 单位名称:
  • 联系电话:
  • 电子邮件:
  • 我想得到贵公司详细的技术资料
  • 我想得到贵公司的价格信息
  • 我想让贵公司销售人员和我联系
  • 我想让贵公司技术支持人员和我联系
其他意向:

频道推荐

关于我们

控制工程网 & CONTROL ENGINEERING China 全球工业控制、自动化和仪器仪表领域的先锋媒体

CE全球

联系我们

商务及广告合作
任小姐(北京)                 夏小姐(上海)
电话:010-82053688      电话:18616877918
rendongxue@cechina.cn      xiashuxian@cechina.cn
新闻投稿:王小姐

关注我们的微信

关于我们 | 网站地图 | 联系我们
© 2003-2020    经营许可编号:京ICP证120335号
公安机关备案号:110102002318  服务热线:010-82053688