1 微细电火花加工的特点
　　
         微细电火花加工的原理与普通电火花加工并无本质区别。其加工的表面质量主要取决于电蚀凹坑的大小和深度,即单个放电脉冲的能量;而其加工精度则与放电间隙、工艺系统稳定性、电极损耗等因素密切相关。

       微细电火花加工也是利用脉冲电源控制工程网版权所有,将高频放电能量输向放电间隙,靠产生的高温热效应等综合效应实现对材料的去除,从而达到对工件加工的目的。但由于被加工的孔径细微,一般在<5～100μm之间,因此要达到加工的尺寸精度和表面质量要求,还有一些特殊的要求。微细电火花加工具有以下一些特点:

(1) 放电面积很小
　　
        微细电火花加工的电极一般在<5～100μm 之间,对于一个<5 μm 的电极来说,放电面积不到20μm2 ,在这样小的面积上放电,放电点的分布范围十分有限,极易造成放电位置和时间上的集中,增大了放电过

(2) 单个脉冲放电能量很小
　　
       为适应放电面积极小的电火花放电状况要求,保证加工的尺寸精度和表面质量www.cechina.cn,每个脉冲的去除量应控制在0. 10～0. 01μm 的范围内,因此必须将每个放电脉冲的能量控制在10 - 6～10 - 7 J 之间,甚至更小。

(3) 放电间隙很小
　　
       由于电火花加工是非接触加工,工具与工件之间有一定的加工间隙。该放电间隙的大小随加工条件的变化而变化,数值从数微米到数百微米不等。放电间隙的控制与变化规律直接影响加工质量、加工稳定性和加工效率。特别是微细电火花加工中,微孔的加工占大部分,放电间隙的大小与稳定程度更是微孔加工得以成功的关键。

(4) 工具电极制备困难
　　
       要加工出尺寸很小的微小孔和微细型腔,必须先获得比其更小的微细工具电极。在以往的微细电火花加工中,微细工具电极一般采用专门加工后,二次安装到机床主轴头上的方法,此时明显存在着微细电极的安装误差及变形误差等,难以保证工具电极与工作台面的垂直度以及电极与回转主轴的同轴度等。线电极电火花磨削(WEDG) 出现以前,微细电极的制造与安装一直是制约微细电火花加工技术发展的瓶颈问题。由于微细电极安装过程中存在的问题,采用离线方式进行电极的检测显然是不可取的。从目前的应用情况来看,采用WEDG技术能很好地解决微细工具电极的制备问题。为了获得极细的工具电极,要求具有高精度的WEDG系统,同时还要求电火花加工系统的主轴回转精度达到极高的水准,一般应控制在1μm 以内。

(5) 排屑困难www.cechina.cn,不易获得稳定火花放电状态
　　
       由于微孔加工时放电面积、放电间隙很小,极易造成短路,因此欲获得稳定的火花放电状态,其进给伺服控制系统必须有足够的灵敏度,在非正常放电时能快速地回退,消除间隙的异常状态,提高脉冲利用率,保护电极不受损坏。

2 　微细电火花加工系统的总体方案设计
　　
       根据以上微细电火花加工的特点分析,在参阅大量国内外有关微细电火花加工及相关的技术研究成果基础上,设计并研制了一台微细电火花加工系统原理样机。该系统分为机械和电气两大部分,机械部分主要由4 个部分组成:横轴布局旋转主轴、步进电机及压电陶瓷伺服进给装置、制作微细电极的反拷系统和读数显微镜,其构成框图如图1 所示。

图1 微细电火花加工系统机械构成示意图

2. 1 横轴布局陶瓷V型支承旋转主轴系统
　　
       通常情况下电火花加工机床主轴是立式的,因而在加工孔时,蚀除物的排除比较困难,通过放电间隙从孔的底部克服重力移至孔的顶部排出,在微、深孔加工时情况则更加严重。因为微细电火花加工时,放电能量小www.cechina.cn,火花的爆炸力小,放电间隙也小(间隙可以控制在1μm 以下) ,放电自身的动力难以将放电蚀除产物排出。由于排屑困难www.cechina.cn,放电不易稳定,短路增加,从而导致加工效率下降,加工质量恶化。
　　
       为了改善微细电火花加工条件,本系统采用了日本东京大学增泽隆久教授等人原创的横轴布局方案,即主轴水平布局的卧式加工方法,蚀