微机电系统（Micro Electro-MechanicalSystem, MEMS）是现在备受瞩目的新兴技术之一，并已在数个领域取得一席之地。打印机喷墨头是最显著的例子，目前每年有数亿个MEMS器件销售到打印机的市场上，是出货量最大的MEMS产品，这也让HP始终居于MEMS出货量的龙头地位。

图1 MEMS器件销售值及销售量比例分析

       另一个成功的应用领域则是将MEMS器件用于显示设备的市场。TI无疑是此例子中的代表性厂商，该公司以微面镜（micro-mirror）数字光处理（digitallightprocessing,DLP）生产的MEMS器件，在近三四年间出现了大幅的成长态势，据Display Search的研究报告指出，DLP技术已在投影显示市场取得85%的市占率，让DLP在2004年的MEMS销售额上领先了打印机喷墨头www.cechina.cn，销售额达8.8亿美元，也让TI比HP的口袋中赚进更多的钱。

MEMS市场剖析

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p;    就厂商的市场占有率来看， 今日的MEMS市场呈现寡占的局面。In-Stat的分析显示，2004年中20家最大MEMS器件供货商就占了整体销售额的62.2%，其中HP和意法半导体（STMicroelectronics）等厂商因为喷墨打印机厂商提供微流体（Micro-fluidic）器件而主导这个市场，根据Yole Developpement的资料，若加上具有17年MEMS开发经验的厂商Bosch，上述三家厂商在2004年的MEMS销售额总计超过10亿美元。

       但这并不就表示市场已被垄断，毕竟这是一个新兴的市场，仍有很多的发展可能性。

       以TI的DLP技术来说，至今已开发近二十年了，却在2004年时一举以9亿美元的DLP芯片销售额成为此市场的巨人。所以目前仍可见到许多公司前扑后继地投入这一市场，希望成为下一个TI。

       MEMS的应用范围除了涵盖热门的IT、通信、消费类等3C市场外，也适用于汽车、军事、生物、医疗、化学等各种领域，几乎任何需要机械器件的小型化电子系统都可能用得上MEMS。不过，很多的产品仍处于研发阶段，在商言商，业界所瞩目的还是3C和汽车等大众化的市场。

       以通信产业来说，虽然电信骨干的市场并未明显起色，但手机等移动终端仍是市场的杀手级应用，也是MEMS的商机所在。预料未来将有更多的手机整合RF MEMS器件和惯性传感器，光纤网络也会采用MEMS技术控制工程网版权所有，这都会促成通信市场MEMS单位出货量的高度成长。EmTech公司的分析显示，在2009年以前，以手机应用为主的通信市场之MEMS的用量增幅将最大，占整体MEMS销售额的比例将成长近三倍。

       此外CONTROL ENGINEERING China版权所有，消费性电子产品也是MEMS抢攻的市场。In-Stat/MDR指出，加速计、回转仪、麦克风、光学M E M S （ O p t i c a l M E M S 或MOEMS）和RF MEMS等是在消费类电子产品中最具影响力的MEMS器件。至于最具潜力的应用则包括家庭影院、便携式摄影机、数字电视、手机和电子玩具等。

表1 2005年MEMS市场预测（按产品分类）
 

 MEMS主流产品及技术现况

       整体来看，根据In-Stat/MDR的报告，MEMS在未来几年的单位出货量将以19.87%的复合年增长率成长，到了2009年将接近60亿个。虽然单位出货量能维持两位数的成长，但就销货额来看，随着各种MEMS器件的竞争日趋激烈控制工程网版权所有，EmTech Research预估未来五年的销售成长率将会下降至一位数。

       MEMS器件的产品类型繁多，目前商业化的主要产品包括微流体器件、惯性传感器、压力传感器、RF MEMS、光学MEMS等等。

       In-stat/MDR指出，2004年全球MEMS市场规模约70亿美元，销售量约23.7亿颗控制工程网版权所有，其中以微流体器件最多，占整体销售量的67.9%，总